真空閥門應該具備的優(yōu)點應有以下幾個方面:
1、閥門的密閉特性要好,不僅多孔板封閉式處漏汽速度要小,并且油路板的漏汽速度要小;
2、閥門密封性構件耐磨性能要好,尤其是高壓閘閥與多孔板密封性構件要能重復應用,使用壽命長;
3、閥門的通導能力要大;
4、閥門原材料應具備低飽和蒸氣壓、高耐腐蝕能力和高有機化學可靠性;
5、極高真空閥門應耐烤制,烘烤溫度一般不低于150℃,最 大450℃;
6、閥門構造要簡易,造型設計別具一格,電源開關輕巧靈便,電源開關情況應有標志,大中型閥門應有吊裝設備,實際操作便捷,檢修非常容易;
7、閥門零部件加工工藝性能要好,表層工藝處理優(yōu) 秀,閥門聯(lián)接法蘭應合乎真空法蘭
行業(yè)標準規(guī)定。