真空系統(tǒng)用于改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流尺寸，切斷或連接管道的真空系統(tǒng)元件稱為沈陽(yáng)真空閥門(mén)。
真空閥在真空系統(tǒng)中的重要性
1、電源開(kāi)關(guān)供氣
如下圖1所示，當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開(kāi)后，機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)于容器I真空包裝，氣流通過(guò)預(yù)真空空氣管道；當(dāng)閥門(mén)2關(guān)閉，閥門(mén)4打開(kāi)時(shí)，真空泵可以單獨(dú)包裝擴(kuò)散泵的真空；當(dāng)閥門(mén)1和閥門(mén)4同時(shí)打開(kāi)時(shí)，擴(kuò)散泵和真空泵可以同時(shí)工作，并抽出容器時(shí)間，然后氣流通過(guò)擴(kuò)散泵。由此可見(jiàn)，閘閥在這種操作中的重要性是電源開(kāi)關(guān)供氣，改變氣流通過(guò)線路；
2、控制氣流大小
調(diào)節(jié)真空值在圖1中。調(diào)節(jié)閥門(mén)1的單流閥可以通過(guò)打開(kāi)視角來(lái)調(diào)節(jié)通過(guò)管道的氣流大小。關(guān)閉閥門(mén)2和閥門(mén)4，根據(jù)排氣閥3可以給出真空泵。Ⅲ將通道放入空氣中；根據(jù)排氣閥5調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空值；
3、定量分析打氣
如下圖2所示，夾層玻璃閥的柱塞泵中有一個(gè)一定大小的小孔。當(dāng)小孔轉(zhuǎn)向右側(cè)與液化氣瓶連接時(shí)，小孔可以充滿高壓空氣；當(dāng)它們轉(zhuǎn)向左側(cè)與真空泵容器連接時(shí)，容積的高壓空氣也被放入容器中，這也起到了定量分析和呼吸的作用。
真空閥的驅(qū)動(dòng)形式主要包括以下幾種方式。
1、手動(dòng)式
手動(dòng)真空閥適用于小型真空泵的主要用途，自動(dòng)化程度不要求，也常出現(xiàn)在一些實(shí)驗(yàn)設(shè)備中；
2、磁移動(dòng)式
磁移動(dòng)真空閥由DC或交流電磁化鐵芯組成，完成流線圈姿勢(shì)，帶動(dòng)閥板健身運(yùn)動(dòng)。由于流線圈新行程安排有限，規(guī)格小，但姿勢(shì)快，截止閥、排氣閥等。一般用于低真空管道。磁移動(dòng)真空閥和氣動(dòng)真空閥都適用于防御場(chǎng)合閘閥；
3、氣動(dòng)
氣動(dòng)真空閥是根據(jù)空氣壓縮推動(dòng)的，結(jié)構(gòu)緊湊，電源開(kāi)關(guān)快，主要用于大中型真空技術(shù)中的長(zhǎng)距離操作，以及多閘閥真空系統(tǒng)的復(fù)雜應(yīng)用。但不適合小型真空系統(tǒng)使用，因?yàn)楸仨殕为?dú)使用氣動(dòng)閥。
4、電和油壓式
電動(dòng)真空閥是指由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的真空閥，而油壓是根據(jù)油等液壓推動(dòng)的。這兩種真空閥都需要大功率的真空閥，都是真空系統(tǒng)中常用的真空閥，大中型工業(yè)化生產(chǎn)，技術(shù)自動(dòng)化程度高。
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